Motion control

Asse piezo di precisione QF-50 per il posizionamento di obiettivi per microscopia e di ottiche

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qf-50

L’asse piezo per nanoposizionamenti QFOCUS® QF-50 di Aerotech è stato progettato per il posizionamento ad alte prestazioni di obiettivi per microscopia e di ottiche. Esso offre una corsa di 400 μm ad anello chiuso e di 450 μm ad anello aperto, un’elevata velocità, una linearità dello 0,01%, una risoluzione subnanomtrica e una ripetibilità bidirezionale di 4 nm.  Oltre a poter alloggiare strumenti ottici,il QF-50 è adatto anche per applicazioni di microlavorazione laser di prossima generazione.

Grazie ad una struttura ad elevata rigidità, le prestazioni del QF-50 possono superare quelle di scanner piezo concorrenti grazie ad obiettivi più grandi, ed apertura numerica (NA) più elevata. Il QF-50 è ideale per le applicazioni di posizionamento ottico che richiedano un´elevata precisione e produttività, unite a corse lunghe.

Il QFOCUS QF-50 è guidato da elementi flessibili di precisione ottimizzati tramite l’analisi a elementi finiti per un’eccellente rigidità e frequenza di risonanza, il chè consente un’elevata produttività di processo ed una risposta ad anello chiuso molto veloce. Una cura meticolosa è stata dedicata alla progettazione degli elementi flessibili dell’asse QF-50, per assicurare prestazioni geometriche senza rivali con errori di rettilineità fino a 40 nm lungo l’intera corsa.

Il feedback ad anello chiuso, disponibile come opzione, sfrutta una soluzione unica basata su sensore capacitivo e consente una risoluzione subnanometrica ed un’elevata linearità. A differenza di sensori estensimetrici o piezoresistivi, i sensori capacitivi forniscono una misura diretta del carrello di posizionamento per una precisione e una ripetibilità superiori.

Accoppiato ai controllori ed agli azionamenti serie Q di Aerotech, l’asse dimostra una risoluzione di posizionamento e una stabilità di mantenimento della posizione (jitter) subnanometriche, offrendo allo stesso tempo un´elevata ampiezza di banda del posizionamento. Opzioni software avanzate, come il Dynamic Controls Toolbox ed il Motion Designer, offrono una varietà di tool molto efficaci e facili da utilizzare comprendenti Iterative Learning Control, Harmonic Cancellation, e Command Shaping, che consentono tracking errors e tempi di avanzamento e assestamento (step and settle) più contenuti. Sono disponibili azionamenti anche in versioni per OEM.

Il QF-50 è disponibile con adattatori filettati, utili per la maggior parte dei microscopi ed obiettivi. Il montaggio a torretta del microscopio permette un posizionamento rapido e semplice in qualsiasi orientazione desiderata. Inoltre, i fori filettati sul corpo della base permettono un montaggio alternativo per interfacce custom su macchine o altri strumenti ottici. Il QF-50 è disponibile di serie con un´apertura libera di 29 mm.

Il data sheet della QFOCUS QF-50 è disponibile su : https://www.aerotech.com/product-catalog/piezo-nanopositioners/qfocus-qf-50.aspx

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